量測實驗室注意事項

為維持量測實驗室之整潔並確保每位使用者的權益，下列事項請所有使用者務必遵守：

  1. 原則上量測儀器與探針座禁止搬動。若不得不移動儀器與探針座，請務必妥善規劃預計搬動之架構並通知管理者，使用完畢後也請立即歸還原位。
  2. 量測結束後，即使隔天還要用，也務必要將所有接線、電源與工具恢復原狀，並關閉顯微鏡光源與Pump電源等，當天最後一位使用者請將量測儀器關閉。
  3. 所有量測系統都採登記制，使用任何儀器也都必須線上填寫使用紀錄簿，以追蹤儀器使用狀況與使用者，若儀器發生問題請立刻通知管理者。
  4. 所有的轉接頭都放在工具櫃的轉接頭保存盒中，請謹慎使用，並於使用後歸還原位。
  5. 若對以上事項有任何建議或疑問，請與量測組管理員討論。

量測系統使用規定

  1. 量測系統權限分述如下：
    • 使用者：通過本實驗室的量測系統考核後，即擁有使用者權限，方能預約與獨立操作該量測系統。
    • 資深使用者：擁有使用者權限達半年後，即為資深使用者，得實行該量測系統之教學課程。
    • 管理者：據資深使用者權限之量測組成員即為管理者，可進行該機台與量測系統的保養維護、參與本規定之修改，以及擔任量測系統使用權限考核的考官。
  2. 未取得權限之人員必須在資深使用者的陪同下使用量測系統，具兩個月以上的使用經驗者，方可向管理者申請該量測系統的使用權限考核。(若使用過程有缺失，懲罰將採取連坐制)
  3. 凡持有權限者，可於Weekly Meeting結束後在使用紀錄簿登記未來一周內各量測系統的預約時段。除特殊狀況外，每人每次僅可預約一次，每次至多兩個時段，共四小時。完成第一次預約的使用後才可進行第二次的預約，依此類推。
  4. 權限考核內容
    • Cascade & B1500A
      1. 針座歸零與機台開關流程。
      2. 量測軟體之使用方法，包含DC Sweep，Sampling，Switch，Pulse，Cycling等。
      3. 機台接線方法，包含示波器等。
      4. 升降溫機台使用方法。
    • 光源 & 4156C
      1. 針座與探針之裝卸，10分鐘內須將四組針座就量測位置。
      2. 量測軟體之使用方法，包含DC Sweep，Sampling，Switch，Pulse，Cycling等。
      3. 機台接線方法，包含示波器等。
      4. NIR 與 DUV 光源開關與相關軟體使用方法。
    • Probe Card & 4156A: 不提供權限考核，僅能由量測組管理員操作。
  5. 以下違規事項由管理員討論是否需懲處，累積兩次警告者，停止權限一周，懲處結束後方可消除兩次警告。
    • 取得權限後，若使用不當或者違規次數過多，將參照本規定並由量測室管理員定奪是否取消或降低其權限。
    • 儀器使用前請自行檢測是否有任何使用障礙或問題，並確實回報至量測組或管理員。未確實檢測或回報問題者，將承擔該次違規之懲處。
    • 權限不足卻擅自操作機台者，警告一次。
    • 預約後無故取消預約時段且並未移除紀錄簿填寫資料者，警告一次。
    • 無人預約之時段經協調後可自由使用，但使用後必須確實填寫紀錄簿，未依規定確實填寫者，警告一次。
    • 量測室內禁止任何攜帶食物入內，飲用品除外，未依規定者，警告一次。
    • 因人為因素造成量測樣品損壞者，警告一次。
    • 因人為因素造成量測系統或儀器損壞者，警告兩次。
    • 以上狀況若情節嚴重或累犯者，再追加警告一次！